TCS208F���w�ጧ(d��o)������
��HL Planar��˾TCS208F���w�ጧ(d��o)�����������õ�MEMS�ӹ����g(sh��)�����ñ��y�M�ֺͅ���?x��)��w�ğጧ(d��o)ϵ��(sh��)��ͬ��푑�(y��ng)�ĝ���͂��������a(ch��n)Ʒ���Йz�y�������Ը���ʹ�ð��b�������S�o(h��)���εȱ�����(y��u)�c(di��n)��
�ɏV����(y��ng)����CH4��H2��CO2��CO��SF6��Xe��He��NH3�Ț��w�ɷݙz�y��Ҳ�����ڜy���dz�С�Ě��w�ݷe׃����
ˮ��ʽ������̼���B(y��ng)�䣨�ጧ(d��o)�������� ��̖(h��o):M307110 | ؛̖(h��o): |
�a(ch��n)Ʒ����: �����cNAPCOˮ�A��ʽ������̼���B(y��ng)�����B(y��ng)�h(hu��n)����ȵ������w.��7001ϵ���еĜض�,������̼���������ⶼ����X������.�������_(d��)��������(du��)��ȿ����_(d��)�� 98%�� �a(ch��n)Ʒ���c(di��n): 1.����ǻ�w�O(sh��)Ӌ(j��)��ǻ�w��(n��i)�]���L(f��ng)�ȼ����������ɱ�����Ⱦ��ǻ�wͨ�^HEPA�^�VĤ�c�h(hu��n)���l(f��)�����wѭ�h(hu��n)�� 2.������91Lˮ�ɵĜضȷ�(w��n)��������һ�Լ����ٵĜضȻ֏�(f��)�������x��ˮ���T��(n��i)�ӟ�ɱ���a(ch��n)�������� 3.�A�νY(ji��)��(g��u)�R�����ҔR��֧�������Ƅ�(d��ng)��������ϴ�� 4.ǻ�w�ɲ��P��Ƴ�����XPID�ضȿ��ƣ��Пጧ(d��o)��TC��������̼�������� 5.��ȿ��_(d��)98%���ǬF(xi��n)�I(y��)�����ĝ���� ���g(sh��)ָ��(bi��o): 1.��(n��i)�ݷe:156L(212L) 2.�Ԅ�(d��ng)����CO2:0~20% 3.�ضȷ���:�Ҝ�~500C.�ضȿ��Ʒ�ʽ:PID 4.��ȷ���:�h(hu��n)�����~98% 5.̎��������,ˮ�A�� |